Electron-beam, x-ray, and ion-beam techniques for submicrometer lithographies III - March 15-16, 1984, Santa Clara, California
- Författare
- (Alfred Wagner, chairman/ed.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1984 | USA, Bellingham, Wash | 136 sidor. diagr., ill., tab. |